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涡旋真空泵的应用领域

涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。

一文了解涡旋真空泵动涡旋盘结构的特点

单面和双面为动涡旋盘上两面是否都有涡旋齿而言，动涡旋盘上只有一面有涡旋齿为单面涡旋泵，动涡旋盘上两面都有涡旋齿为双面涡旋泵。目前国内厂家的产品都为双面设计，国外厂家的产品大多为单面设计

与单面相比，双面涡旋泵有较高的抽速和自平衡轴向力的优点，但是由于很高的结构对称性要求，双面涡旋盘的加工制造比较困难

在双面涡旋真空泵的结构中，动涡旋中心要安装两个轴承，轴承和真空室直接相连，即使使用动密封，也会造成返油现象，污染真空环境和影响极限真空度，要考虑轴承因真空引起的变形，使用真空轴承，轴承长期在真空条件下工作，会降低轴承的寿命

双面涡旋真空泵中要求曲轴较长，增大了曲轴的加工制造难度和成本，如果曲轴稍有变形，就会在很大程度上影响侧向间隙，从而影响极限真空度，甚至出现碰齿现象。在单面涡旋真空泵中，轴承可与真空室隔开，清洁度和极限真空度提高；结构简单，动涡旋盘和静涡旋盘之间容易拆装，密封条的替换比较容易；曲轴较短，加工制造难度和成本降低。

涡旋真空泵

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备，通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置，按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵，其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业，而真空泵由于其强大的力度，使得在使用时需要固定的非常牢固，但是现有的装置进行只是进行固定，并且固定的不是很牢固，而且没有一个缓冲的功能，使得装置运行时产生的振动会直接传导到底座上，使得螺栓松动，导致装置脱落，同时现有的装置在进气口上未设置有过滤装置，使得灰尘的杂质进入到装置内部，由于内部结构运行速度较快，使得灰尘一但进入到内部，将会对内部结构产生非常大的磨损，为此提出一种涡旋式真空泵。

涡旋真空泵组成与工作原理

无油涡旋真空泵由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳等。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋形盘壁组成，定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成无油涡旋真空泵的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触，依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔，通过吸气、压缩、排气的循环，使气体从抽气口吸入、排气口排出，实现对被抽腔体抽真空。

主要用途

真空镀膜机，分析测试仪器，真空排气/回收装置，真空炉，排气台，高能束线，等离子清洗，检漏仪，真空包装机，真空吸附搬运。