直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。也可分四级,增加一级过滤器。现在我们国家的经济科技在发展,同时带动了社会各行各业在告诉发展中。以净化工程这个行业为例,在目前呈现一片喜人的发展态势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。现在我们国家的净化工程已经在朝着节能的方向发展了,除了人士以外,其他人很少知道净化工程的耗能量特别大,时候普通写字楼的20倍,比美国更发达国家高出了15%。看到这些令人心惊的数字,我们国家的科学家们从节能的角度出发从根本上出出发,设计出能够节省的相关设备。
洁净厂房工程除了常规电、水、通风外,还有空调设备、净化设备、工艺管道、照明等。在建造开始时,洁净厂房工程地址的挑选应合乎有益生产制造、便捷衣食住行、节约项目投资和运营花费的标准。净室及净化空调系统都达到了了洁净的要求之后,净化空调系统必须要进行试运转。好连续运转12个小时以上,然后再次进行清扫,擦净洁净室后立即安装过滤器。一般生物洁净室:主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保证正压。
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